金融债券 扬杰科技获得发明专利授权:“一种不损伤栅氧的多晶硅剥离方法”
2025-07-04本站消息,根据天眼查APP数据显示扬杰科技(300373)新获得一项发明专利授权金融债券,专利名为“一种不损伤栅氧的多晶硅剥离方法”,专利申请号为CN202111129720.4,授权日为2025年7月1日。 专利摘要:一种不损伤栅氧的多晶硅剥离方法。涉及一种半导体制造技术领域,尤其涉及一种不损伤栅氧的多晶硅剥离方法。本发明使用29%氨水进行Poly(多晶硅)去除,取代原有硅腐蚀液(HNO3+HF+HAc+H2O)进行Poly层去除,氨水去除Poly层的同时不腐蚀SiO2,返工风险极低,有很好